中古 CANON PLA 501 #293815056 を販売中

CANON PLA 501は、優れた性能と信頼性を提供する高精度のプロフェッショナルマスクアライナーです。ダイアフラムアクチュエータを含む2つのモーションコントロールシステムを備えており、設計の正確なアライメントを可能にし、強力な強化ソフトウェアで精密な調整を可能にします。マスクアライナーは0。3 μ mのプログラマブルな厚さ精度で、フォトリソグラフィなどの高精度アプリケーションに最適です。CANON PLA-501は、手動および自動化されたパターニングプロセスの両方を可能にする大きなステンレスステージを備えています。4軸ステージは、2つの独立したX軸およびY軸ドライブと、プロセス制御用の1つの一般的なZ軸で構成されています。さらに、基板上のフルサイズマスクの正確な位置決めが可能で、解像度は0.5µmです。機械の表面はプラスチック製のシールドで保護されており、フォトリソグラフィ中の適切なアライメントと均一な露出を確保するのにも役立ちます。このマシンはまた、自動パターン認識とインスタントアライメントを提供し、それを効率的かつ正確にする統合レーザースキャナーを備えています。また、処理前に基板のフォーカスマップを自動生成する高度なオートフォーカス機能も備えています。また、処理中の事故を防止するための包括的な安全制御システムを備えています。最先端の技術と精度を兼ね備えたPLA 501は、さまざまな高度なリソグラフィープロセスに適しています。フォトステンシル、レジスト開発、スパッタコーティングなど幅広い用途に対応しています。さらに、このマシンは堅牢で信頼性が高く、メンテナンスが容易であるため、オペレータは1つのプラットフォームからリソグラフィープロセス全体を制御することができます。その結果、このマスクアライナーは、一貫した高品質の結果を低い所有コストで提供します。