中古 CANON PLA 501 #293760365 を販売中

CANON PLA 501は、基板上のフォトレジストパターンを正確かつ正確に転送するために設計された最先端のマスクアライナーです。各種マスクや基板に対応した高効率なアライメントシステムを採用しています。CANON PLA-501は、アライメント/露出ヘッド、コントロールユニット、アライメント測定用ムービーカメラの3つの主要コンポーネントで構成されています。高精度アライメントヘッドは、増倍光学部品で構成されており、空冷および電気冷却により、均一で詳細なアライメントを提供します。ヘッドは10ビットのマイクロコンピュータ制御ユニットに接続されており、ユーザーは目的のマスクのアライメントと露出時間を選択することができます。高度なムービーカメラは、0。2 µmの精度で、単一の測定内で最大256 x 256のアライメントポイントを測定することができます。PLA 501は感光性材料の高精度の反復露光のために設計されています。光の強度、焦点、露光時間、撮影領域、波長範囲など、幅広い露光変数を備えています。このマシンには高度なロジック操作システムが付属しており、完璧なアライメントと再現性を確保するための強力なモデリング機能を提供します。PLA-501は、自動集中化、対称性、バイアスシフト補償などの複数の機能オプションを備えており、高精度リソグラフィの要件に適しています。CANON PLA 501はユーザーフレンドリーなコントロールインターフェイスを備えており、ユーザーはマシンを素早くセットアップして操作することができ、エラーを最小限に抑え、効率を最大限に高めます。このマスクアライナーには、信頼性の高い自動熱露出および化学露出システムも付属しており、メンテナンス要件を最小限に抑えて弾力性のある動作を保証します。キヤノンPLA-501は最先端の技術を駆使し、印刷精度、精度、スピードの面で優れた性能を発揮します。最後に、機械はさまざまな基質および基質のサイズと互換性があります。