中古 CANON PLA 501 #293758566 を販売中

CANON PLA 501は、ウェーハの自動フォトリソグラフィ用に設計されたマスクアライナーです。このデバイスは、700mm x 300mmの広い視野で高品質のパターニングを提供する2段階の投影装置を採用しています。この2段システムは、高速で低エネルギーのアライメントを提供し、フォトリソグラフィを実行する時間とコストを削減します。また、高解像度の高コントラスト投影ユニットを備えています。キヤノンPLA-501は、6倍の倍率を実現する最先端の光学機器と、高精度なパターンアライメントを実現する近接センサーを備えたレーザーNX90アライメントビームを備えています。この自動フォトリソグラフィの手順は、露光中にウェーハの位置を追跡するツールのCCDカメラによって可能になります。また、基板が動いたり変形したりすると、ウェーハ上のパターンの位置を調整できるオートフォーカスのアセットも組み込まれています。このデバイスには、高精度で高解像度のイメージングモデルも装備されており、フォトリソグラフィに適しています。6インチウェーハステージ、9マスクステージ、XYZ高精度ウェーハステージで、走行速度は8 um/secです。± 45°の自由な傾きの機能はユーザーが同じ基質の異なった角度の大規模なリソグラフィを行うことを可能にします。また、PLA 501は、高度なパターニング装置とイメージングシステムを組み合わせた信頼性の高いアライメントと転送精度を備えており、ユーザーはパターンを正確かつ効率的に開発することができます。ユニットはまた、開発プロセスに優しい環境を提供します。最小限の労力を必要とするメンテナンスは、サービスデータを驚くほど追跡するアクティブなメンテナンスカウンターによって保証されます。PLA-501はウェーハレベルの処理のためのオールインワンフォトリソグラフィ機械です。その有用なアプリケーションと適切な設計により、マイクロエレクトロニクス、MEMS、半導体、回路処理、バイオテクノロジーなどの幅広い研究および産業アプリケーションに理想的なプラットフォームとなります。