中古 CANON PLA 501 #293717420 を販売中

CANON PLA 501は、高度なマイクロエレクトロニクス研究および高精度フォトリソグラフィ用途向けに設計された完全自動精密マスクアライナーです。基板やマスクの高解像度アライメントや、迅速かつ再現性の高い画像処理が可能です。CANON PLA-501は、工具ステージサイズが4インチ×4インチで、工具ステージから最大基板高が6mmになります。254nmのUVレーザーソースと、高精度なアライメントを可能にするコンピューター制御のガルバノメートルスキャンミラー装置を備えています。また、XYステージとμ Zステージを備えており、各実験の構成要件に合わせて基板とマスクの高精度な動きを可能にします。PLA 501には高度な露出制御ユニットがあり、パルス幅と波長、露出時間、露出線量比などの露出パラメータを調整できます。また、手動オーバーライドモードを備えているため、あらかじめ設定された値に影響を与えることなく、露出パラメータを手動で設定できます。PLA-501は包括的なプロセス制御ソフトウェアパッケージがインストールされています。ソフトウェアパッケージを使用すると、レシピの作成、編集、実行、プロセスステータスの監視、実験データの収集ができます。また、マシンのリモートコントロールを可能にし、完全に自動化された露出運転を可能にします。メンテナンスに関しては、コンポーネントを定期的に検査し、必要なメンテナンスをユーザーに通知するインテリジェントなセルフメンテナンスツールを搭載しています。さらに、モデルのレンズ、マスクステージ、基板から汚染を除去する自動洗浄アセットを装備しています。全体として、キヤノンPLA-501は、高度なマイクロエレクトロニクス研究やフォトリソグラフィ用途に適した高精度、高スループットマスクアライナーです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、高度な露出制御装置、インテリジェントなセルフメンテナンス、自動化されたクリーニングシステムが付属しているため、高速で高精度な製造に最適です。