中古 CANON PLA 501 #293696568 を販売中

CANON PLA 501は、フォトリソグラフィープロセスに使用されるマスクアライナーです。ビームソース、精密X/Yステージ、統合ステージコントローラを内蔵したデスクトップユニットです。1。0 μ mの高解像度イメージングが可能です。ビーム源のスポットサイズは0。1mmで、最大120 Wのパワーで動作します。これは、プロセス時間と露出量を正確に制御するマイクロロケーションの形成に最適です。X/Yステージでは、基板やマスクの精密かつ再現性の高いアライメントが可能で、正確な画像配置が可能です。統合されたステージコントローラにより、両軸の動きを精密に制御できます。キヤノンPLA-501は、クリーンな環境を確保し、サンプルの汚染を防ぐために、クォーツフィルター付きドライエアーシステムも内蔵しています。基板を固定するための真空チャックを内蔵しており、最大100x100mmまでの基板をサポートできます。サンプルを処理するために、オペレータはまずX/Yステージにサンプルをロードし、その後、手動または自動ムーブメントによって基板またはマスクを揃えます。その後、ビームスポットがサンプル全体に移動して露出が行われます。ポストプロセスは、サンプル作り出されるパターンを明らかにするために開発されなければなりません。PLA 501は、半導体製造におけるさまざまな用途において重要なデバイスであり、マイクロエレクトロニクスデバイスの正確なパターニングを可能にします。優れた解像度、サンプルの正確なアライメント、および信頼性の高い正確な処理のための自動化された操作を提供します。