中古 CANON PLA 501 #293644255 を販売中

CANON PLA 501は、半導体ウェーハの製造に使用されるハイエンドのフォトリソグラフィーマスクアライナーです。複数のマスクを迅速かつ正確に整列および転送する必要があるお客様にとって、費用対効果の高いソリューションです。CANON PLA-501は、最大フィールドサイズ25mm x 25mm、最大13パターンの開口部を備えています。このデザインは、デバイスで可能な0。5 umの機能を備えた最小ライン幅1 umを提供します。また、アライメント精度は0。25 umで、スループットは1時間あたり最大20ウェーハです。また、高度なOpto-Mechanical設計を採用しており、マスクフィールドサイズとパターン開口部の正確な位置決めと制御が可能です。PLA 501には、ラインとイメージングビームを生成する2つの強力な高性能レーザーソースがあります。エアビアリングシステムと高精度の光学レンズは、マスクの開口部プロファイルの高品質を保証します。また、手動の配置と操作によって引き起こされる推測とエラーも排除されます。PLA-501は、パターンの品質を制御するためのマスク前処理ステーション、およびマスクの避難のためにも装備されています。また、自動制御とフィードバックを提供し、パターンの品質と製造中の正しいアライメントを簡単に確保することができます。全体として、CANON PLA 501マスクアライナーは、半導体メーカーのフォトリソグラフィーのニーズを満たす効率的で信頼性の高いツールです。高精度で優れた性能と手頃な価格で、複数のマスクを迅速かつ正確に整列および転送する必要があるあらゆる施設に最適なツールです。