中古 CANON PLA 501 #293644254 を販売中

CANON PLA 501は、高解像度で正確なマスクアライメントを必要とするフォトリソグラフィ用途向けに設計されたマスクアライナーです。このシステムは、高精度なフォトマスクの自動アライメント用に設計されており、感度の高いフォトマスクパターンの精度を実現しています。XY軸アライメントテーブル、デュアル光学顕微鏡、3つのレチクル、長時間作動距離イメージングレンズを備えた投影ユニットで構成されています。XY軸ロボットアライメントテーブルは、2つのスティックステージを駆動し、それぞれに0。001 mmの分解能でレチクルと基板を運びます。これにより、基板やレチクル位置の変形を引き起こすことなく、複数の基板やレチクルを正確に揃えることができます。また、アライメントテーブルはステージモーション安定性を備えており、振動のない高精度フォトリソグラフィ露光が可能です。二重光学顕微鏡は、レチクルと基板の正確で信頼性の高いアライメントのために最適化されています。それは30Xまでのズーム範囲が付いている高倍率の光学ヘッドから成っています。顕微鏡は二重繊維光源、調節可能な露出制御が装備されており、リモート・コントロールのための専用USBポートによって容易にパソコンに接続することができます。3つのレチクルには、それぞれ希望のパターンを持つフォトマスクが含まれています。各マスクは、最終的に印刷されるデバイスの形状と材料を定義するように設計されています。レチクルの最も一般的なタイプは、バイナリ位相シフトマスク、減衰位相シフトマスク、交互開口マスクおよび収差のないマスクです。プロジェクションユニットには、マスク上のパターンを基板に露出させる長時間作動距離プロジェクションレンズが装備されています。露出制御システム（露出制御範囲は0。05〜32秒）を搭載し、シャッタースピードは最大1/1000秒で、高解像度で信頼性と再現性の高いパターン転送が可能です。全体として、CANON PLA-501は、高精度フォトリソグラフィ用途に適した非常に正確で信頼性の高いマスクアライナーです。高解像度かつ高精度で、歪みを最小限に抑えて基板上に正確なパターン転送を可能にします。