中古 CANON PLA 501 #293643206 を販売中

CANON PLA 501は、半導体デバイスの製造に使用されるデバイスです。マスクアライナーは、対象基板上にフォトマスクパターンを正確に配置し、パターンの一部を集中させて光にさらすために使用されるツールです。これにより、半導体デバイスとのパターンの正確なアライメントが可能になり、より高い歩留まりとパフォーマンスが得られます。CANON PLA-501はステッパーであり、ステップアンドリピート技術を使用してフォトマスクパターンを正確に整列およびフォーカスします。1.5µmの最大アライメント精度、最大離角10°、最大フィールドサイズ10mmøを備えています。テレセントリック光学系と多角形ミラースキャナの両方を搭載し、高精度とオーバーサンプリング機能を兼ね備えているため、高倍率でも画像のシャープさが向上します。レーザー光源の平均出力は450mWで、電圧範囲は10.5V〜12Vで、近紫外線と可視絶対露光の両方に適しています。PLA 501は高度に自動化されたシステムで、プログラマブルなデジタルプロセスコントローラと詳細なプロセス分析のための監視システムを備えています。ユーザーインターフェイスはユーザーフレンドリーで直感的で、パラメータの変更、インプロセスデータの監視、診断の実行、ユーザーアカウントの管理を簡単に制御できます。ソフトウェアアーキテクチャは、プロセスモジュール、オペレーションモジュール、メンテナンスモジュールの3つの主要モジュールに分かれています。PLA-501は、多くのマスクアライナーと同様に、クリーンルーム環境で動作するように設計されています。フィルターとバッフルが内蔵されているほか、特別に設計された騒音・振動抑制システムを備えているため、環境を最小限に抑えた厳格なクリーンルームで使用できます。キヤノンは、デバイスの円滑かつ安全な動作を確保するために、フォトレジスト、洗浄剤、レンズ保全液など、幅広い消耗品を提供しています。CANON PLA 501は半導体業界で広く使用されており、その優れた精度、スピード、ユーザビリティ、信頼性により競合他社とは一線を画しています。コンパクトなサイズと高度な技術により、最も要求の厳しい製造要件を満たすことができ、薄膜トランジスタ、高密度メモリ技術、オプトエレクトロニクスなど、さまざまなアプリケーションに使用できます。