中古 CANON PLA 501 #293608761 を販売中

CANON PLA 501は、マイクロエレクトロニクスおよびナノ電子部品の製造に使用されるフォトリソグラフィ機器の一種であるマスクアライナーです。シリコンウェーハなどの基板上にフォトレジストを露出させ、集積回路を作成するだけでなく、その他のオプトエレクトロニクスおよびマイクロメカニカルデバイスの製造にも使用されます。キヤノンPLA-501は、コンパクトなフットプリントを採用し、高精度・高精度を必要とする様々な用途に対応できるよう設計されています。その統合された設計は既存の生産ラインか既存の生産設備に合うことを可能にします。高精度チップ加工に必要な2つの特徴である、広い視野と高解像度を備えています。また、高精度の真空チャックにより、ドリフトや振動を排除し、小さな機能や高アスペクト比の機能に最適です。PLA 501は、7。3インチ幅のマスク、0。25マイクロメートルの最小フィーチャーサイズ、および1/5,000 μ mのアライメント精度を備えています。高速CPUと複数のセンサーを搭載し、マスクパターンを素早くスキャンして認識し、電子ビームマシンと同じ速度と精度で正確に整列させることができます。さらに、複数のマスクPLA-501正確かつ均一に揃えるようにプログラムすることもできます。CANON PLA 501にはいくつかの高度な機能があり、アライメント時間をさらに短縮することができます。これらには、マスクの自動センタリング、正確なピッチ制御、複数の正確なアライメントポイント、正確なマイクロスポットアライメントおよびレーザーアライメント、および1つのプロセスで複数のマスクを同時に使用する機能が含まれます。CANON PLA-501は、ポジティブトーンレジストアプリケーション、ネガティブトーンレジストアプリケーション、ポストエクスポージャー・ベークなど、さまざまなプロセスで構成することもできます。その機能と機能を考えると、PLA 501は精密で正確な集積回路、オプトエレクトロニクスまたはマイクロメカニカルデバイスを製造したい人にとって理想的な選択肢です。その高精度と精度により、最も要求の厳しいアプリケーションに適しており、リーズナブルなコストで一貫して高い歩留まりを提供します。