中古 CANON PLA 501 #293592025 を販売中

CANON PLA 501は、リソグラフィや半導体デバイス製造に使用されるフルフィールドマスクアライナーです。高精度な非接触アライナーで、光ビームを利用して正確な転送アライメントを実現し、半導体基板の特徴を正確にパターン化します。キヤノンPLA-501は、高解像度スキャン装置と高NAレンズを搭載しており、ダイナミックレンジの広いパターニングが可能です。使用される1050nm波長レーザーに高コントラストおよび深い焦点があり、効果的に高精度の異なった特徴のサイズの範囲を移すことができます。高精度で高解像度のこのマシンは、0。1umのフィーチャーサイズで、アライメントされたマイクロリソグラフィーパターンを正確に転送することができます。投射場が非常に広く、多種多様なダイサイズの加工が可能です。フォトレジストコートシステムは、膜厚精度が2％以内の均一なコーティング機能を備えています。PLA 501にはCAD/CAM制御機能が搭載されており、セットアップ時間を短縮し、手動操作エラーを低減するための新しいパターン設定GUIを備えています。また、自動アライメント、チルト、回転機能を備えたマトリックスレイアウト機能、ウェハフラットの迅速かつ正確な検査を可能にする特別なウェハマッピング機能を備えています。PLA-501は、熱効果と動きの歪みを排除し、可能な限り最高の精度と再現性を提供する高度な蒸発冷却ユニットを使用しています。このマシンは、動作中の音響ノイズを排除する低周波で動作します。14セグメントの照射ジェネレータは均一な照射を生成し、メンテナンスフリーの高速処理を可能にします。さらに、マスクアライナーには高度なCMOS検出器が装備されており、高感度と低暗電流測定を提供し、常にハイエンドのアライメント精度を保証します。CANON PLA 501は、堅牢な連結加工機と高速検査機能を備え、長いメンテナンス間隔で信頼性の高いユーザーフレンドリーなマシンです。自動化可能なプロセスと使いやすい機能により、CANON PLA-501は高精度のマスクアライナーアプリケーションに最適です。