中古 CANON PLA 501 FA #97269 を販売中

CANON PLA 501 FAは、フォトリソグラフィ用途向けに設計された先進的なマスクアライナー装置です。半導体産業における半導体デバイスの製造に使用されています。高度なフォトリソグラフィ技術を使用して、フォトレジストで覆われた基板の上にマスクを直線的に配置します。広い面積のアライメントマスク、拡張露光エリア、拡張アライメントシステムを備えています。高度なフォトリソグラフィーユニットは、高輝度の紫外線源と投影レンズで構成されています。統合されたステージは、最大0。5 nmの位置分解能と0。15 μ mの再現性を提供します。また、ステッピングモータを搭載し、測定原点をワンステップで移動させる駆動機構を備えています。さらに、マスクアライメントを有効にするには、100以上のマイクロプロセッサと4つのCCDカメラがあります。キヤノンPLA-501FAの大面積アライメントマスクは、幅と高さがそれぞれ206mmと170mmです。これにより、広範囲の露出を可能にし、時間を短縮し、生産性を向上させることができます。露出面積は直径79mm、補強されたXビームと部品の取り扱いが容易なホルダーを備えています。このマスクアライナーが提供する高度なアライメントマシンには、基板上の投影パターンを正確に検出する12チャンネルのデッドゾーン決定ツールが含まれています。また、構造のより正確なアライメントのための高精度アライメントアルゴリズムを備えています。PLA 501FAは、最適な結果を得るためにクリーンな空気供給を確保するのに役立つ内蔵の高性能エアシャワーで製造されています。さらに、自動高さ検出、Zレベルスキャン、カムシャフトカッターの2種類など、さまざまな機能を搭載しています。全体として、PLA-501FAは高精度、高速半導体デバイスの製造のために設計された高度なマスクアライナーです。その広い面積のマスク、拡張露出領域、および強化されたアライメントアセットが組み合わされ、正確で迅速かつ正確なプロセスを提供します。