中古 CANON PLA 501 FA #9396180 を販売中
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CANON PLA 501 FAは、膜に書き込まれたパターンを正確かつ正確にウェーハ表面に伝達するように設計された、最先端の半自動高解像度マスクアライナーです。このデバイスは非常に強力な10mWのHe-Cdレーザーを誇り、ウェーハ上で一貫して高品質で高解像度の画像を生成できます。501 FAは、マスクが正確に整列して印刷されることを保証するために、3つの高精度マイクロメートル、傾斜ステージ、およびXYステージからなるファインアライメントシステムを実装しています。501 FAはパターン分解能に優れているだけでなく、自動化された機能のために使いやすいです。ウェーハアライメント、ウェーハクランプ、レジスト露出などの機能は、すべて501 FAによって自動的に実行されます。さらに、より正確なアライメントと露出を確保するために、露出パラメータを制御および調整することができます。最適なフォトポリマー露光のために、501 FAは4クアドラントおよび8クアドラント露光ステージを使用しており、別々にまたは一緒に使用することができます。これにより、より優れたパターンとオーバーレイ精度を提供しながら、露光時間を最小限に抑えて正確に揃えられたパターンの露出を可能にします。501 FAは、安定性と耐久性の観点から、モジュラー設計の堅牢なコンパクトボディとメインフレームボディを備えており、振動と温度変化の両方に耐性があります。さらに、内蔵の冷却システムは、一貫した温度を維持し、長期にわたってより一貫した信頼性の高い性能をもたらします。501 FAは、生産性を向上させ、スループットを向上させるために、自動起動、自動ウェーハシフト、マルチパラメータストレージ、レイヤーマッピング、リアルタイムパターンアライメントなどの機能を強化しています。要するに、501 FAは、最新のマスクアライナー、自動化された機能、高解像度レーザー光学、および堅牢な設計を備えています。
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