中古 CANON PLA 501 FA #9395478 を販売中
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CANON PLA 501 FAは、生産用に設計された高性能マスクアライナーです。高度なプロセス機能を備え、高いスループット、高精度、操作性を提供します。CANON PLA-501FAは、新たに設計されたレーザー光学装置、低繰り返し速度レーザーソース、およびウェーハのアライメントとローディングのための自動化されたプロセスを備えています。PLA 501FAのレーザー光学システムは、基板とマスクの精密なアライメントを容易にします。低繰り返し速度のレーザーソースは、迅速かつ正確な露出を生成し、アライメントプロセス中に基板とマスクへの熱損傷を最小限に抑えます。自動化されたプロセスにより、基板とマスクのアライメントが簡素化され、高スループットを実現します。統合されたウェーハコントローラにより、自動ウェーハローディングの柔軟性を最大限に高め、生産性の向上とアライメントプロセスの均一性の向上を実現します。CANON PLA-501 FAは25nmピッチまでの露出が可能で、オーバーレイとフォーカスの両方において最先端の許容差よりも優れています。このユニットは、5x削減機能のために1440 nmの露出が可能な露出ヘッドを使用しています。光学およびエレクトロニクス仕様は、25〜80,000nmのパルスレートをサポートするように設計されています。CANON PLA 501FAを使用して手動および自動のアラインメントを行うことができ、生産要件に応じて柔軟で信頼性の高い機械です。PLA-501FAはまた、安全性と品質保証機能の範囲を提供しています。UltraVioletオイルフリーアライメントツールで設定できます。高度な安全設計により、すべてのコンポーネントが最大限の安全性を確保します。高度な冷却資産は、モデルが最適な性能のために安定した温度で動作するように設計されています。PLA 501 FAは、最小限のメンテナンスで最高の品質とスループットを提供するように設計されています。その高度な機能により、生産環境でのウェーハとマスクアライメントに最適です。優れたプロセス機能、高精度の露出、組み込みの安全機能を備えたPLA-501 FAは、生産要件に費用対効果の高いソリューションを提供します。
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