中古 CANON PLA 501 FA #9384106 を販売中

CANON PLA 501 FAは、ワンステップリソグラフィープロセス用に設計された自動レーザー露光装置です。マイクロエレクトロニクスデバイス、ナノテクノロジー、フォトニクス、オプトエレクトロニクスの高度な研究や開発に最適なツールです。システムは、プロジェクターとステージの2つのコンポーネントで構成されています。プロジェクターモジュールは、ステッピングモータによって制御される波長532nmのソリッドステートレーザーによって駆動される高精度の光学ユニットです。プロジェクターは、スムーズなフォーカス、露出、スキャンを提供する高解像度の連続スキャンビームで動作します。これにより、1µm以上の精度で正確なリソグラフィが可能になります。光学モジュールはまた、高分解能の光学顕微鏡を使用して、リソグラフィープロセスでライブマイクロスコープを提供し、正確なプロセス制御とフィードバックを実現します。ステージモジュールには、基板、マスク、自動アライメントマシン、およびさまざまなリソグラフィープロセスを可能にするように構成できる他の多くのコンポーネントが収納されています。ステージは、正確なモーションステージを備えたクローズドループ、モーションコントロールツールで構成されており、正確なアライメントのためにAbsolute Position Registry Asset （APRS）と組み合わされています。これらの要素は6までの高精度の位置を可能にします-