中古 CANON PLA 501 FA #9328888 を販売中
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ID: 9328888
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligner, 5"
Gases:
N2:
Maximum pressure: 3.5 kg/cm²
Maximum flow: 10 LPM
Pipe: SUS316
Connector: SWAG
Caliber: 1/4"
CDA
Vacuum
Mercury lamp: 250 W
Wafer exposure, 5"
Washing water containing organic solvent:
Pipe: PP
Connector: SWAG
Caliber: 2"
Ground: 1 ohm
Manual included
Power supply: 220 V, Single phase, 3-wires, 1.6 A
Lamp power supply: 110 V, Single phase, 3-wires, 5.5 A.
CANON PLA 501 FAは、キヤノンアネルバ株式会社が製造するマスクアライナーです。様々な半導体デバイスの製造工程で使用できるように設計されており、フォトマスクと基板の正確なアライメントを可能にする高精度の金型構造設計を特徴としています。マスクアライナーは、0.3µm再現性と1µm精度を備えた正確なアライメントを提供することができます。この装置は、石英、シリコン、さらにはGaAsなどの幅広い基板をサポートし、さまざまなフォトマスクとの互換性が高いように設計されています。パワフルで高解像度の光学ユニットを搭載し、10〜5レベル以上の光度制御、露光時間の短縮、露光条件の簡単な調整が可能です。キヤノンPLA-501FAが提供する光強度制御、アライメント精度、高速露光時間の組み合わせにより、フォトレジスト露光、ドライエッチング、はんだ付け、包装など幅広い用途に適しています。マスクアライナーは、操作と調整が容易な大型の直感的なタッチパネルコントロールパネルを備えています。また、ツールに問題がある場合にユーザーに警告する内蔵の安全アラートマシンも提供しています。また、ソフトスタート技術により振動や熱ゆがみを低減し、アライメント精度をさらに高めています。このモデルの高度な機能は、高解像度CCDイメージセンサー、高度なレーザーイメージング機器、高精度XYZ軸、およびアライメント精度、露光時間などのパラメータを簡単に調整できる統合ソフトウェアスイートなど、さまざまなハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントによって実現されています。全体的に、PLA 501FAマスクアライナーは、幅広い基板で優れたアライメント精度を提供する強力で精密なシステムです。さまざまな半導体デバイス製造プロセスに適しており、光強度制御、高速露光時間、ソフトスタート技術、直感的なタッチパネルコントロールパネルなどの高度な機能を提供しています。
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