中古 CANON PLA 501 FA #9289791 を販売中

CANON PLA 501 FAは、高度な半導体デバイスを製造するためのリソグラフィ装置の一部として使用されるマスクアライナーです。チップやその他のマイクロスケール電子部品を製造するための生産環境でよく見られます。マスクアライナーは、シリコンやアルミニウムなどの素材で作られたウェーハのパターンを非常に小さなスケールでスクライビングすることができます。スクライビングは、マスクを介して焦点を当てたレーザー-デバイスに必要な要素のパターンを含むマスクを使用して行われます。その後、マスクアライナーを使用して、マスク内の必要な要素をスクライブウェーハに合わせます。このシステムは、スキャナー、ステッパー、アナライザ、投影ユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。スキャナは、マスクアライナーの光学部品の校正を行い、機械が正しく整列していることを確認します。ステッパーは、マスクをある位置から別の位置にスクライブしたウェーハ上に移動する責任があります。レーザーの強度を測定し、パターンの変化を検出し、必要に応じて修正を行います。最後に、プロジェクションツールはマスクをウェーハに投影し、適切な要素を確実に転送します。このアセットは、直径8インチまでのウェーハに対応でき、0。004ミクロンの解像度を達成することができます。また、クリーンルームでの使用のために設計されています。さらに、最大12枚のマスクを同時に配置できるため、大量の複雑なデバイスを素早く製造することができます。CANON PLA-501FAは、高精度で汎用性に優れた効率的なマスクアライナーで、多様な素材で多種多様な複雑なデバイスを生産することができます。本番環境において貴重なツールであり、さらなる小型化とデバイスの複雑化を可能にします。