中古 CANON PLA 501 FA #9276651 を販売中

CANON PLA 501 FAは、半導体デバイスの製造に使用される最先端のマスクアライナーです。マスクアライナーは、パターン投影用のレーザー光線とパターン転送用のステッピングモータを備えた光学系を利用しています。これにより、マスクパターンをリソグラフィ中に基板パターンに正確にアライメントできます。デバイス製造には正確なパターン転送が不可欠です。キヤノンPLA-501FAは、優れたスループットと優れたパターン登録を提供します。光学システムは355nmの波長を持ち、ステッピングモータは0。6 μ mの移動が可能です。マスクアライナーの最大フレームサイズは450mm×450mmです。精度に関しては、マスクアライナーは0。2 μ mの登録と線幅分解能を提供します。また、PLA 501FAは粒子の汚染を最小限に抑えるように設計されています。粒子除去フィルターモジュールと放電シャッターを装備しています。これにより、マスクアライナー内の限られた領域における空中粒子の除去が可能になります。また、マスクアライナーは高速スキャンを提供しています。フルサイズの250 mm x 250 mmフレームのスキャン時間は0。1秒です。PLA-501 FAの全体的なデザインは、コンパクトでユーザーフレンドリーな機器です。人間工学に基づいたコントロールパネル、マイクロプロセッサインターフェイス、簡単なセットアップ機能を備えており、迅速かつスムーズな操作が可能です。さらに、マスクアライナーにはデータロガーも付属しており、光学システムデータを記録して長期的に追跡することができます。全体として、PLA 501 FAは信頼性が高く効率的なマスクアライナーです。その精度、速度、汚染制御は、多くの半導体企業にとって理想的な選択肢です。最短時間で最高品質の部品を製造する必要がある方に最適です。