中古 CANON PLA 501 FA #9270090 を販売中

CANON PLA 501 FAは、精密フォトリソグラフィとウェハレベルのパッケージング用の自動マスクアライナーです。装置は完全にコンピュータ制御されており、ユーザーは中央制御ユニットからパラメータを設定、監視、調整することができます。このシステムには、UV露出とウェハレベルのパッケージングの両方のための高度な機能が含まれています。CANON PLA-501FAは、フォトマスクを基板に超精密にアライメントできるように設計された5軸アライメントツールです。このユニットには、センターポーク補正付きのXY回転ステージと、基板の高さを制御するZ軸ステージが含まれています。さらに、マスクへの基板のアライメントを検出するために、猫の目カメラが使用されます。PLA 501FAは、フォトマスクや基板のアライメントに高精度かつ再現性を提供することができます。CANON PLA-501 FAは、2つの露出モード、すなわちフリップとダブル露出モードを誇っています。光源の反転可能な偏光状態を利用して、基板の前面と背面の両方を同時に露出させることができます。これは、光源から生じる歪みを最小限に抑えながら、スループットを最適化するのに役立ちます。さらに、PLA-501 FAは、ウェハレベルのパッケージングアプリケーション向けに、一連の高度な機能を提供します。この機械の低温接着オプションは、デリケートチップの接着に最適です。このツールは、高度なカプセル化技術を使用して、湿気やほこりからアセンブリを保護します。さらに、PLA 501 FAには、PID（位置表示検出器）によるマーカー検出が含まれており、アセンブリの精度を保証します。全体的に、PLA-501FAは精密フォトリソグラフィとウェハレベルのパッケージングで優れた性能を提供する高度なマスクアライナーです。この資産は、多くの高度な機能と機能を備え、一貫して信頼性の高い結果を提供することができます。