中古 CANON PLA 501 FA #9269096 を販売中

CANON PLA 501 FAは、マスクパターニングとリソグラフィを容易にするために特別に設計されたコンパクトで完全に自動化されたマスクアライナーです。このマスクアライナーは、5ミクロンの精度と完全に自動化されたアライメント手順を備えた統合レーザーアライメント装置を備えています。マスクアライナーは、デュアルスプリングステッピングモーターステージメカニズムを使用して、小容量の基板と最大6インチの大型基板を正確にパターン化します。さらに、501 FAは、追加のリフトオフ処理を必要とせずに、導電性材料と絶縁性材料の単層または複数層をパターン化することができます。CANON PLA-501FAは、低温処理用の超高真空システムと、Eビーム源と複数のプログラム可能な露光レンズを備えています。デュアル教育ユニットには、位相シフトのアライメントとウィンドウのアライメントが含まれており、1ミクロン未満のフィーチャーのアライメント時に最大の精度を保証します。追加のスモールエリアマッピング（SAM）マシンにより、PLA 501FAは精密デバイスのパターン密度を高めることができます。さらに、マスクアライナーには、ツールの状態を自動的に監視する2次元フォースセンサー、窒化クロムやクロムなどのさまざまな高解像度レチクルが付属しています。PLA-501 FAは完全に自動化されているため、より精密なリソグラフィを必要とする集積回路やその他のパターンに最適です。マスクアライナーのすべての機能が自動化されているため、手動操作と長いセットアップ時間が不要です。さらに、電動ステージは、生産性と精度を向上させるために90度を回転する能力を持っています。その他の機能には、直感的なヒューマンマシンインタフェース、幅広いイメージングオプティクス、および高性能エッチングソリューションの幅広いパターニングソリューションがあります。CANON PLA-501 FAは、CuやAl層など、さまざまな材料の正確なアライメントとパターニングを目的に設計されています。このツールはサブミクロンリソグラフィも可能で、さまざまなマスキングおよびリソグラフィ用途に最適です。さらに、複数のスループットと自動ハンドリング技術を内蔵しているため、予算に優しいマスキングソリューションに最適です。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、プログラムや操作が容易になり、あらゆるレベルのエンジニアが使用できるようになります。要するに、CANON PLA 501FAは、高度で信頼性が高く、使いやすいマスクアライナーであり、小規模および大規模なリソグラフィおよびパターニング用途の両方に高精度で柔軟性を提供します。