中古 CANON PLA 501 FA #9239727 を販売中
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CANON PLA 501 FAは、ウェーハボンディングおよびリソグラフィ市場向けの完全自動化、高精度、費用対効果の高いマスクアライナーです。マスクアライナーはパワフルな高速パターニングを特徴とし、最大0。2 ± mドットミッドピッチのアライメント精度μ提供します。8〜12インチのマスクアダプターを搭載しており、主要なマスクメーカーのフルサイズマスクに対応しています。このマシンは、可視、通常、高度の3つの露光方法すべてで0。4 μ m以上のアラインメントを達成するのに役立ちます。機械の自動化された装置はユーザーにマスクのリソグラフィーの抵抗そして基質を一直線に並べるための制御の完全なセットを提供し、ユーザーが非常に均一な一直線の反復可能なパターンを達成することを可能にします。自動化されたプロセスは、均一なピッチで微細なパターンのアライメントを可能にし、また、様々な厚さの基板パターンにレジストパターンのアライメントを可能にします。これにより、最高の精度のアライメントが保証され、アライメントが安定して一貫していることが保証されます。高性能な光学システムにより、パターンが正確に投影され、マスクの平面全体に均一な照明が施されます。これにより、パターン解像度が最高品質であることが保証されます。CANON PLA-501FAマスクアライナーは横方向のシフトオプションも備えており、予期しない問題が発生した場合のパターン投影の調整を可能にします。PLA 501FAマスクアライナーは、ウェットエッチングプロセスでの使用に最適化されており、相互汚染を防ぐための多くの安全機能が含まれています。さらに、オペレータはコンソールからリモートでマシン設定を制御することができ、オペレータは手動介入を必要とせずにマシンの動作を監視することができます。最後に、マシンはまた、ダウンタイムを最小限に抑え、マシンが常にピーク状態にあることを確認するように設計されている高度なメンテナンス機能を提供しています。すべてのメンテナンス活動は記録され、潜在的な問題を特定するために相談することができ、迅速に修正することができます。全体として、PLA-501 FAマスクアライナーは、信頼性が高く、高精度で費用対効果の高いリソグラフィーソリューションを探しているリトグラファーにとって優れた選択肢です。自動化されたユニット、強力な光学マシン、高度なメンテナンス機能により、このマシンは競争から際立っており、あらゆるリトグラファーにとってスマートな選択肢です。
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