中古 CANON PLA 501 FA #9226338 を販売中

CANON PLA 501 FAは半導体産業で使用するために設計された高度なマスクアライナーです。フォトリソグラフィ技術で使用され、光学マスクを正確に配置し、パターンを基板に転送します。アライナーは優れた精度を提供し、50nmのアライメント精度で高い再現性を提供します。キヤノンPLA-501FAは、双眼顕微鏡、画像ピックアップ装置、実装ステージ、ビームスプリッタ、光学リレー装置、テレセントリックレンズで構成される10倍から30倍の高度な投影顕微鏡を使用しています。この顕微鏡は、優れたコントラストと解像度を提供するユニークなHAD異光学光学システムを内蔵しています。この顕微鏡には、オートセンタリング機能とオートフォーカスが搭載されており、可能な限り最高の精度を保証します。PLA 501FAは、ガラス、シリコン、低k誘電体、セラミック基板などの異なる基板材料に対応し、試験構造にアライメントを提供することができます。アライナーには、ウェーハ上のアライメントマークを検出するために使用される空中イメージングユニットも装備されています。このマシンは、デジタルカメラ、ステッピングモーター、Zドライブ、ターンテーブルアクチュエータで構成されています。PLA-501 FAには、全体のアライメント処理を制御するためのタッチスクリーンインターフェイスを備えたツールコントローラがあります。これには、アライメントプロセスを最適化するために使用できる多数のオンボードプログラムが付属しています。また、光学エッジ検出機能、非対称アライメント機能、ユニークなエッジ検出プログラムなど、包括的なアライメントツールを備えています。CANON PLA 501FAアライナーは、高いスループット速度と優れたアライメント再現性により、大量生産環境での使用に適しています。このアセットは非常に効率的で、5秒未満のサイクルタイムを提供し、標準的なスループットは1時間あたり最大250ウェーハです。全体として、PLA-501FAは非常に高度なマスクアライナーで、優れた精度を提供でき、大量の生産環境での使用に適しています。