中古 CANON PLA 501 FA #9226309 を販売中
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CANON PLA 501 FAは、最大1000mm×1000mmの高精度、全自動マスクアライナーです。高度なウエハ加工に適しており、エレクトロニクス業界の集積回路(IC)製造に適しています。キヤノンPLA-501FAにはキヤノンの高度なリソグラフィ技術が搭載されており、優れたオーバーレイ精度と結果が得られます。そのカンチレバー設計は優れた均一性を保証し、リソグラフィーのフォトリソグラフィープロセスがチップ生産ライン全体で一貫して信頼できることを保証します。PLA 501FAはまた、優れた熱校正と緩和を提供し、製品の寿命を改善し、ピーク性能を確保します。強力なモーター駆動システムは、正確なガントリー移動と正確なマスク配置を保証します。デュアルクイックリリースフィクスチャにより、フォトマスク間の切り替えが容易になり、高速かつ効率的なリソグラフィ処理が可能になります。また、CANON PLA-501 FAには2つの最先端の洗浄システムが搭載されています。新しいウェットスプレー洗浄機構はレジストや有機材料の残留物を除去し、液体サンプリングシステムは揮発性汚染物質を抽出します。さらに、マスクアライナーには温度と圧力を監視するセンサーが装備されており、粒子制御と歩留まりを向上させます。PLA-501FAはまた、包括的な高度な安全機能を提供しています。インターロックの配列は危険な化学物質への露出からユーザーを保護するように設計されています、そして組み込みの自動シャットオフは危険が検出されれば操作を停止します。明確な安全レンズは目の傷害の危険を減らします。PLA-501 FAは、卓越した精度と信頼性を提供します。高度なリソグラフィ技術、包括的な安全機能、精密なモータ駆動システムにより、効率的なウェーハ処理と優れた歩留まりを保証します。
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