中古 CANON PLA 501 FA #9226071 を販売中

CANON PLA 501 FAは、電子機器の加工と整列を行うために設計されたコンピューター制御マスクアライナーです。このデバイスのアライメント精度は、高密度ロジック集積回路や混合回路基板などの先進産業の要件を満たすように設計されています。キヤノンPLA-501FAは、必要な正確なアライメント精度と最大スループットを提供するだけでなく、異なる基板をサポートすることができます。PLA 501FAは、2。7ミクロンの再現性精度を持つ6インチアライメントプラットフォームを使用しています。基板アライメントに必要な精度を提供するために、デュアルパラメトリックフォーカス装置と高精度のV溝電動ステージがあります。アライナーはまた、基板の上下からフォーカスを調整し、アライメント精度を向上させるのに役立つ調整可能な焦点光学システムを備えています。アライナーには、基板の積み降ろしを容易にする自動ウェーハローダーも装備しています。PLA-501FAはまた異なった適用のための操作モードの広い範囲を提供します。これらには、Red-Green （RG）機能、複雑なウェーハパターンを持つ基板のGlobal Align （GA）機能、ローカルパターンを持つ基板のLA （Local Align）機能、および複数のアライメント機能が含まれます。高度なパターン認識モードにより、ユーザーは1つのステップで多数のパターンをロードすることもできます。PLA-501 FAの制御は、CANON EPSOFTソフトウェアを介して行われます。このソフトウェアは、自動基板、パターン、およびプロセス選択を提供し、また、データの手動入力を可能にします。このソフトウェアは、基板、プロセス、およびトレース名の詳細を含む各プロセスのオンザフライドドキュメント、ならびに基板登録およびアライメントに関連する統計の動的更新を可能にします。要するに、PLA 501 FAは、電子デバイスの高精度アライメントと処理のために設計されたコンピュータ制御マスクアライナーです。6インチアライメントプラットフォーム、2。7ミクロンの再現精度、デュアルパラメトリックフォーカスユニット、調整可能なフォーカス光学マシン、高度なパターン認識モード、およびキヤノンEPSOFTソフトウェアを備えています。高密度ロジック集積回路や混合基板の高度な製造に最適です。