中古 CANON PLA 501 FA #9190949 を販売中

CANON PLA 501 FAは、マイクロエレクトロニクスデバイスなどのフォトリソグラフィ用途向けに設計された高精度マスクアライナーです。先進的なナノポジショニングシステムと高解像度ステッピングモータを搭載しており、フォトリソグラフィーマスクを基板に迅速かつ正確にアライメントすることができます。アライナーは高いアライメント精度を備えており、x方向とy方向の両方で+/-2µm以上に登録することができます。CANON PLA-501FAには、静かで動きが速い5インチステージが装備されています。6インチまでの基板サイズをサポートし、自動基板ローダーが付属しています。総視野は5。12"で、アライメントと露出の両方で印象的な視野を提供します。視野は0.01µmの読み出し精度によって補完されます。PLA 501FAは、非接触、接触、および干渉アライメントを可能にするスルーレンズオプティカルシステムを備えています。これにより、マスクとウエハサイズに違いがあっても正確なアライメントが可能になり、基板の厚みも変化します。PLA-501FAは、用途に応じて全方向、低輝度光源、または高濃度スポットを提供する最適化された照明システムを提供します。これにより、基板とマスクの照明が向上し、アライメント精度が向上します。さらに、マスクアライナーは、露出操作中に発生する黄斑のアライメントエラーを低減するのに役立つ自動マスクシフトシステムを備えています。CANON PLA-501 FAには特許取得済みのリアラインテクノロジーが搭載されており、後で使用するためにアラインメント画像を保存できるため、アラインメントを繰り返しやすくなります。この機能により、手動のアライメントセットアップも不要になります。最後に、マスクアライナーには、高性能プラットフォームや追加の照明器など、多数のアクセサリーもあります。全体として、PLA 501 FAは信頼性の高い高精度マスクアライナーであり、マイクロエレクトロニクスの生産を大幅に効率的かつ正確にします。光アライメント、自動基板ローディング、最適化された照明システム、再調整技術などの高度な機能を備えているため、フォトリソグラフィ作業に最適です。