中古 CANON PLA 501 FA #9161682 を販売中

CANON PLA 501 FAマスクアライナーは、マスクから基板にパターンを転送するために使用されるフォトリソグラフィ装置の一種です。紫外線を使用して、マスクに刻印されたパターンが基板に露出し、パターン化されたフィルムを作成します。CANON PLA-501FAは、敷設環境に大きな変化があっても、マスクと基板の正確なアライメントを提供するように設計されています。PLA 501FAは、マスクと基板の高精度なイメージングを可能にする革新的な光学機器を備えています。再現性4nmの6倍ズームレンズ2枚、再現性1nmの6倍テレセントリックレンズ2枚を使用し、最大0。02 μ mの精度で高精度な測定を可能にします。このユニットには、イメージングシステム、コントローラ、ウェーハステージも含まれています。PLA 501 FAはクリーンルーム環境で使用するように設計されており、汚染制御ユニットが設置されています。ISOクラス4の空気濾過定格、空気速度0。45m/s、温度および湿度レベルはそれぞれ20°C〜25°C （68°F〜77°F）、 30〜70％ RHです。高度な光学機器は、オンボードのアライメントおよびイメージングシステムとともに、登録/アライメント検出、配置精度、穴/フィルムパターン検出、調光/パターン認識など、いくつかの機能を備えています。イメージングツールは、光学4倍の効果的な視野を持つ画像を取得することができます。CANON PLA 501FAは、直径300mm （12in）のウェハステージと0。02 μ mのXY精度を備え、幅広い基板に対応可能です。また、パターンフィルムの正確なリアルタイムホール/パターンアライメント制御と認識を提供するビジョンアセットを内蔵しています。CANON PLA-501 FAは、高度な半導体デバイス、センサ、IC、 3D微細構造、その他の超微細パターンの作成などのアプリケーションに適した強力な生産レベルのリソグラフィーソリューションです。高レベルのマスクアライメント精度を提供し、高度な半導体業界で働くプロフェッショナルに最適です。