中古 CANON PLA 501 FA #9159256 を販売中

CANON PLA 501 FAは、マイクロファブリケーション用途に最適な光学性能を提供するフルフィールドマスクアライナーです。マスクアライナーは、3〜8インチウェーハ、石英基板、ガラス基板など、幅広い基板に酸化物層をパターン化するのに適しています。マスクアライナーは、0。2um ±の全体的なアライメント精度、微細なピクセルチューニング、およびマスクの高精度なイメージングを可能にし、高レベルのコントラストを維持することができます。501 FAは、カスタマイズ可能な8プレートのオートインデックス装置を備えており、複数のパターンプレートを正確に配置できます。501 FAには、アライメントパラメータを正確に制御する最先端のデジタルコントローラが装備されています。このコントローラは、デジタルパターンシフト補償とオートシャッター制御を備えており、アライメントおよびリソグラフィープロセス中のより正確なウェーハ露出を可能にします。このデジタルコントローラは、フォーカス、デフォカス、照明、露出、ウェーハ速度などのプロセスパラメータの調整も可能です。自動化されたキャリブレーションとアライメント機能により、マスクパターンの正確かつ再現可能なアライメントがさらに促進されます。501 FAには高感度画像検出システムも搭載しており、アライメントとリソグラフィ精度の向上を実現しています。このユニットは、1um以下の解像度で最小の特徴を認識することができます。このイメージセンシングマシンは、コントラスト、カラーマッチング、シャドーコントロールを改善し、非常に正確なパターンアライメントを可能にします。マスクアライナーには、パターンプレートの照明なしアライメント用のエルビウムレーザーも装備しています。これにより、外部光源の必要性がなくなり、アライメントおよびリソグラフィープロセス中に生産性、再現性、精度が向上します。エルビウムレーザーはまた、様々なアプリケーションで最適な動作のためにビームの強度と波長を正確に制御することができます。501 FAはさらに高度な自動安全機能を備えています。ダスト検出、チップ加熱制御、シャッター自動設定などの機能により、運転時の安全性が向上します。501 FAには40点式オートフォーカス・ツールも装備されており、必要な手動操作数を最小限に抑えながら、イメージング性能を向上させます。全体として、CANON PLA-501FAマスクアライナーは、正確なアライメントとリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。この汎用性の高いフルフィールドマスクアライナーは、アライメントパラメータを正確に制御することができ、各種ウェーハ製造プロセスの精度、コントラスト、解像度を向上させます。自動化された機能、画像検出アセット、エルビウムレーザー、高度な安全機能により、微細加工プロセスの安全性、効率性、再現性がさらに向上します。