中古 CANON PLA 501 FA #9144944 を販売中
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CANON PLA 501 FAは、フォトリソグラフィ用途における高品質で高精度なフォトマスクの露出を得るために特別に設計された自動マスクアライナーです。歪みやウェビングを最小限に抑え、高精度なマスクを提供することができます。このアライナーは、プロセススループットの向上、フォトマスクの精度の向上、フォトマスク上の写真ラベル付きの構造とパターンの正確な位置決めに役立ちます。アライナーには、16 "x 12" FOVを備えた5 MPイメージャが装備されており、最大0。000004"の位置決めとアライメント精度を可能にします。強化されたスマートステージにより、マスクの登録精度が0。000063"と低くなり、プロセスをスピードアップできます。ウェーハステッパー、ステッパー、スキャナ、ダイレクトライトシステムなど、さまざまなアライナーをこのアライナーと組み合わせて使用できます。CANON PLA-501FAは、高精度な露出でプロセス時間を短縮し、フォトマスク精度を向上させるように設計されています。また、高精度のオートフォーカス光学システムを内蔵しており、望ましい仕様の精度を維持しながら歪みやウェビングを排除します。直感的なユーザーインターフェイスと操作が簡単なダッシュボードにより、操作が簡素化され、効率的で準拠したプロセスを達成するのに役立ちます。アライナーは複数のレシピと機能比較を提供し、各アプリケーションに最適な設定を保証します。PLA 501FAは、厳しいプロセス要件を満たすように設計されており、これらの要件を満たすための高性能ソリューションを提供します。アライナーは、大量のフォトリソグラフィおよび精密アプリケーションに最適です。多くの機能を備えたアライナーは、優れた精度、信頼性、パフォーマンスを保証します。
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