中古 CANON PLA 501 FA #9142669 を販売中

CANON PLA 501 FA
製造業者
CANON
モデル
PLA 501 FA
ID: 9142669
ウェーハサイズ: 2"
ヴィンテージ: 1988
Mask aligner, 2" Process: Photolitho 1988 vintage.
CANON PLA 501 FAは、半導体包装およびハイブリッド産業向けに特別に作成された完全自動マスクアライナーです。このデバイスは、フォトマスクのアライメント作業を素早く完了させる4ミクロンの位置決め精度を備えた高速パターン処理ソリューションを提供します。CANON PLA-501FAは、5000シリーズのマスクアライナーの一部であり、精密フォトプロッティングやその他の主要な製造プロセスのための最高のフォトリソグラフィーシステムとして機能します。UVレーザーを用いた石英やパネルマスターへのダイレクトイメージングが可能で、フィルム加工工程を必要とせずにリアルタイムマスク露出が可能です。PLA 501FAは、ユーザビリティと精度を高めるさまざまな高度な機能を備えています。これは、サンプルボードのアライメントマークとパターンを正確にアライメントするためのナノレベルのマイクロポジショニングシステムで構築されています。さらに、完全に自動化されたウェーハ負荷レチクル交換機構を備えており、プロセス時間とヒューマンエラーの可能性を低減します。また、高度な拡散反射カバレッジ・センサを搭載しており、作業表面全体を監視してリソグラフィ処理を改善し、より正確な露光制御を実現しています。PLA 501 FAは、デバイスを接続して制御するためのPCに接続することもでき、フォトリソグラフィのジョブを簡単にアーカイブすることもできます。PLA-501 FAとPCの組み合わせにより、マスク露出のリアルタイム監視が可能になり、運用効率が向上します。このデバイスはすぐに使用でき、追加のユーザー準備時間や特別な設定は不要です。PLA-501FAはまた、エネルギー効率が高く、耐久性の高い部品であるため、堅牢で信頼性の高いシステムです。マークとウェーハ/マスクの間の4 μ mの優れたウェーハアライメント精度に加えて、これらのコンポーネントは、アライナーが着用せずにピーク性能を維持するのに役立ちます。これにより、このデバイスは厳しい生産要件と高速なワークフローを備えた業界での使用に適しています。最後に、CANON PLA 501FAはメンテナンス性の低いオペレーション向けに設計されており、メンテナンスや校正チェックを必要とせずに長時間稼働できます。また、ほとんどの石英プレートやハイブリッド基板とも互換性があり、さまざまな産業分野に最適です。
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