中古 CANON PLA 501 FA #9099865 を販売中

CANON PLA 501 FAは、電子部品の製造に使用するために設計された高精度マスクアライナー機です。この機械は、複雑な電子回路パターンを作成するための基板にパターンを転送するプロセスであるフォトリソグラフィに使用されます。これを実現するために、キヤノンPLA-501FAは2つのビームシステムを使用しています。この装置は非常に精密なパターン生産を可能にし、PLA 501FAマイクロエレクトロニクス生産に最適です。PLA-501 FAには、ウェーハにパターンを投影するための2つのビームとレンズが装備されています。このマシンは、マスクを整列させるためのデュアルガルボスキャナーを備えており、マスクを正確な位置に保持および取り付け（TMH）するための真空ヘッドを備えています。プロセス中の繊細な基板を保護するために、調整可能な暖房システムが含まれています。また、真空圧力制御と自動チャッキングユニットを備えており、ウェーハを正確に配置できます。CANON PLA-501 FAは、最大40nmの微細なパターン精度を実現し、365〜455nmの波長でパターンを投影します。このマシンはまた、処理時間が5秒以下の高いスループットを備えており、最大12個のウェーハに対応しています。再現性のために、このマシンは100 um領域でエラー補正を行う高精度のアライメントツールを備えています。この資産は複雑で、熟練したオペレーターが必要ですが、セットアップと操作は簡単です。PLA-501FAは非常に耐久および有効であるように設計されていました。このマシンは、ウェーハやその他の基板の大きな負荷に耐えることができる堅牢なフレームを備えています。内蔵の安全対策により、オペレータはモデルの損傷や過負荷を心配することなく作業することができます。CANON PLA 501FAは、電子部品の製造に焦点を当てた工場にとって貴重なツールです。その高精度なパターン作成と精度は、複雑なパターンを作成するための理想的な選択肢となります。堅牢な設計、安全対策、効率的なスループットにより、あらゆるフォトリソグラフィのニーズに最適です。