中古 CANON PLA 501 FA #293819190 を販売中

CANON PLA 501 FAは、フォトリソグラフィ用に設計された最先端の高精度で高度に自動化されたマスクアライナーで、リソグラフィやダイレクトライティング用途に使用されます。レーザー検出とアライメント技術により、最大6インチウェーハに対応し、アライメント可能な大型ワーキングチャンバーを備えた完全自動化された装置です。CANON PLA-501FAは、レーザパターンジェネレータシステムと脱磁光学を使用して、ファインピッチ混合回路や高度なパッケージング、SMD/COF/マイクロエレクトロニック/MEMS、 OPCおよび逆彫り、フォトマスク/デカール作成、およびフラットパネルディスプレイなどのさまざまな用途に使用できます。PLA 501FAは、高いアライメント精度と優れた再現性を保証するマスクステージとチャックを備えています。photonix™リニアエンコーダ（LEN™）と特殊フォーカスコントロールユニットを内蔵しており、再現性の高いあらゆるアプリケーションで高精度なウェーハ平面性を確保しています。レーザー検出器は、検出器アレイ、電子シャッター、プロジェクションオプティクスで構成され、ナノメートルの精度で高精度なアライメントと再現性を実現します。PLA-501FAは対話的な整列および容易な操作に使用することができるユーザーフレンドリーな10。4インチのタッチ画面のオペレータパネルと来ます。さらに、インラインデータ処理、アライメントプロセス自動校正、リモートマシン制御機能を備えているため、生産ラインのアプリケーションに最適です。PLA-501 FAは、CANON独自のEcho™ソフトウェアを含む、既存のほとんどのリソグラフィーソフトウェアアプリケーションと互換性があり、セットアップから露出までのリソグラフィープロセス全体を合理化できます。CANON PLA-501 FAは、高度で費用対効果の高いリソグラフィーソリューションに最適で、複数のアプリケーションに適しています。その優れた性能、ユーザーフレンドリーな操作、高いスループットと統合機能により、高品質の結果と生産性の向上を実現します。