中古 CANON PLA 501 FA #293763589 を販売中

CANON PLA 501 FAは、12ミクロンの機能層サイズと12。5ナノメートルのステップ分解能を備えたフルフィールドレーザーアシストアライメント（FA）マスクアライナーです。このマスクアライナーは、高解像度フォトリソグラフィ、および超精密製造に適しています。CANON PLA-501FAマスクアライナーの主な用途の1つは、集積回路（IC）製造です。半導体リソグラフィープロセスで広く使用されています。その広い作業領域、フルフィールドフォーカス、および高精度機能により、高性能ICの製造が容易になります。PLA 501FAは、25点のX-Yステージ、6つのアクティブなアライメントパターニング位置、2つのマスクチェンジャーを備えています。これにより、並列アライメントとパターニング機能が可能になり、スループットが大幅に向上し、全体的な生産性が向上します。マスクアライナーの12ミクロンのスポットサイズは超高解像度と精度を保証し、12。5ナノメートルのステップ分解能は高度なアプリケーションタスクに必要な精度と再現性を提供します。PLA-501 FAは、内蔵のトレースパターンアナライザやグラフィカルユーザーインターフェイスなど、いくつかの強力な機能を備えた堅牢で信頼性の高いシステムです。トレースパターンアナライザは、パターンのトポグラフィを視覚化することができ、ユーザーインターフェイスは操作を簡素化します。光電流が高く、フォトマスクの高線量露光を可能にします。これは、ミスアライメントと歪みを最小限に抑えて優れた結果を達成するのに役立ちます。CANON PLA-501 FAにはオプションのOn-axis Digital Protection Element （OPE）アライナーが搭載されており、IC設計からウェーハパターンにデータを転送する際の正確なデジタル保護要素（OPE）アライメントが可能です。これにより、ソースとターゲットデータを完璧に転送しながら、フォトリソグラフィープロセス全体を正確に保つことができます。PLA-501FAは広範囲のフォトマスクおよび抵抗と互換性があり、いろいろなフォトリソグラフィの適用を扱うことができます。また、インテリジェントなアライメント機能を備え、手動アライメントに必要な時間と労力を削減します。全体的に、CANON PLA 501FAは高解像度と精度のために設計されており、リソグラフィ用途に最適です。堅牢な機能、強力な機能、複数の機能により、あらゆるIC製造ニーズに対応した信頼性と高効率のマスクアライナーを実現します。