中古 CANON PLA 501 FA #293757355 を販売中
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CANON PLA 501 FAは、フォトリソグラフィで電気構造を作製するために設計されたマスクアライナーです。このデバイスは、シリコンやヒ素ガリウムなどの半導体材料に複雑なパターン構造を正確に印刷するために使用されます。プログラム可能な光学アライメント装置を使用して、フォトマスクをワークピース上に正確に配置します。この精密なアライメントにより、高解像度の構造を正確に印刷できます。CANON PLA-501FAは、さまざまな設定が可能なプログラマブルなシステムです。それはフォトマスクの精密な配置を保障するために露出時間、焦点およびマスクの整列を調節するのに使用することができます。このユニットには、ステップ露出を容易にすることができる微細で粗いアライメントを備えたエアベアリングステージも含まれており、マルチレベルの表面パターンを生成することができます。精密なマスクアライメント機能に加えて、露出線量と均一性を最適化するために使用できる高度な露出ツールも搭載しています。10mJ/cm2から3,000mJ/cm2までの露光範囲が長いため、幅広い露光要件が可能です。また、露出アセットには均一なキャリブレーションステージが必要であり、複雑な層の露出に正確かつ再現可能な露出を提供します。PLA 501FAには、マスクパターンの設計に使用できるソフトウェアも組み込まれています。このソフトウェアは、最適化ルールの広い範囲で複雑で詳細な構造を作成することができます。一度設計すると、パターンは正確なアライメントと露出で、基板に正確に印刷することができます。PLA-501FAは、高精度フォトリソグラフィに最適な汎用性と強力なモデルです。プログラム可能な設定、アライメント精度、均一なキャリブレーション、パターンデザインソフトウェアは、産業用およびラボ用の魅力的なデバイスです。
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