中古 CANON PLA 501 FA #293749124 を販売中

CANON PLA 501 FAは、フォトリソグラフィープロセスにおいて正確で信頼性の高いパターンアライメントを提供できる高性能マスクアライナーです。このデバイスは、幅広い基板やレジストに対応できる汎用性と高度なアライナーです。ダイレクトイメージングとマスクベースの両方のプロセスを実行でき、追加の機器は不要です。CANON PLA-501FAは、作動距離630mm、再現精度0。2um、最大ウエハサイズ200mmを搭載しています。このデバイスはまた、少なくとも8倍のズーム範囲を持つ12インチのアクティブ領域を持っています。7。250 x 5。250インチの標準フィールドサイズと、マスクとレジストの正確なアライメントを提供する統合オートフォーカス装置を備えています。このデバイスは、露出にGライン （430nm）およびIライン （365nm）のソースを使用し、最大アライメント速度は1ショットあたり0。05msです。また、1回の露出、複数の露出、ゴースト画像、およびゴースト露出プロセスを提供できるダイレクトイメージングモードも備えています。このデバイスは、柔軟なレシピプログラミング、PCリモートソフトウェア、システムネットワーキング用のWebサーバーを備えた使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。HIACモニタリングユニットを内蔵しています。さらに、このデバイスには幅広い露出後ベーキングプラットフォームがあり、異なるレジスト厚さを1つのデバイスでテストすることができます。また、フォトリソグラフィープロセス中に必要なマスクの数を削減するウェーハアライメントマシンを備えています。結論として、PLA 501FAは、高精度のフォトリソグラフィープロセスを実行できる強力で高性能なツールです。ダイレクトイメージング、マルチエクスポージャー、Gライン、Iラインソース、HIACモニタリングツール、ウェーハアライメントアセットなど、幅広い機能とツールを備えており、マスクアライナーに最適です。