中古 CANON PLA 501 FA #293749121 を販売中

CANON PLA 501 FAは、半導体フォトリソグラフィープロセス用の先進的なマスクアライナーです。この装置は、主にウェーハの製造および包装プロセスに使用されます。それは正確かつ効率的に接触穴、細かいラインパターンやその他の重要な機能を露出することができます。CANON PLA-501FAは、深紫外線（DUV）リソグラフィ、電子ビーム（e-beam）リソグラフィ、抵抗溶融、熱処理を使用したプロセスに適しています。恒久的なアライメントユニットを搭載し、5nm以内までの精度で高精度・再現性を実現しています。また、高い基板スループットが可能で、最大8インチの基板をサポートします。マスクステージは最大15。6m/sの高速で動作するため、広い領域を短時間で正確に整列・露出できます。また、ワークフローを簡素化するために、露出後および焼成後のプロセスの自動化もサポートしています。このツールは、3次元レーザーフォーカス検出処理を使用して、アラインメントが必要に応じて正確になるようにします。PLA 501FAは高速FPD標準トランスファアセットを備えており、傷やずれなく素早く基板を転送できます。このモデルには、生産性を犠牲にすることなく、基板全体にわたって高い均一性を維持することを保証するデジタルフィールド平坦化装置が装備されています。このシステムは、露出面積を拡大し、基板平坦性を向上させる新しいアライメントステージで設計されています。最小線幅30nmのパターン処理が可能で、微細加工に適しています。色LCDユーザー、インターフェイスは便利な操作を可能にし、誤り訂正およびセットアップのフィードバックを提供します。全体として、PLA 501 FAは信頼性が高く、正確で効率的なフォトリソグラフィーユニットです。その高度な機能、生産性、再現性により、半導体ウェーハ処理に最適です。精密で反復可能な超小型リソグラフィを必要とするあらゆるプロセスに最適です。