中古 CANON PLA 501 FA #293652732 を販売中

CANON PLA 501 FAは、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されるマスクアライナーツールです。このアライナーは、高精度の半導体部品および集積回路デバイスの製造において、基板上にフォトマスクまたはレチクルを正確に配置するように設計されています。このデバイスは、高精度の光学アライメントシステムとCCDカメラベースのイメージングシステムを備えています。このマシンは、自動化されたアライメント機能により、マスク配置プロセスの精度を確保するように設計されています。CANON PLA-501FAは、2つの目的、2つの接眼レンズ、2つの光線、および回転砲塔を含む2つの急斜面レンズで構成されています。ライトビームはアライメント用に使用され、タレットは回転して機械が手動または自動操作でアライメントできるようにします。アライナーの精密動作により、毎秒500のアライメントサンプリングポイントで最大20ミクロンのアライメント精度を実現します。PLA 501FAには、オペレータがアライメント操作をカスタマイズできるようにするさまざまな機能があります。これらの機能には、配置前にマスクまたはレチクルを回転およびスキャンするために使用されるロータリーアーム、ダイツダイまたはダイツツーフィデューシャルアライメントモード、バックサイドアライメント、画像転送アライメントモード、および自動アライメントモードの選択が含まれます。アライナーはまた、さらなる分析や品質基準の遵守に使用するために、マスクの高解像度画像の画像キャプチャ機能を提供します。CANON PLA 501FAは、精度と再現性を考慮し、マイクロエレクトロニクスデバイスの大規模生産に最適なツールです。このデバイスは、レチクルを正確に整列させ、ステンシル作成を支援し、生産プロセスの品質管理を向上させることができます。アライナーはまた、同じ基板上のレチクル間の光学系を比較することによってパターン間の欠陥を検出するための比較アライメント機能を提供します。さらに、アライナーは既存の生産ラインに容易に統合され、あらゆる生産設備にとって貴重な投資となります。