中古 CANON PLA 501 FA #293592858 を販売中
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ID: 293592858
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 1983
Mask aligner, 5"
Control box
(2) Accessories packing
Lamp power supply
1983 vintage.
CANON PLA 501 FAは、大面積マイクロおよびナノスケール機器の製造に使用されるマスクアライナーです。パターン化されたフォトレジスト材料を撮影し、基板表面に堆積するために設計されています。キヤノンPLA-501FAは、精度と再現性に優れた全自動マスクアライナーで、精密部品の大規模生産に最適です。このマシンは、露光時間や解像度などの調整可能なパラメータと優れたアライメント機能を組み合わせています。PLA 501FAには、高解像度の光学顕微鏡、レーザーシステム、オートフォーカスカメラが含まれており、完成したデバイスの厳密なアライメントと再現可能な品質を可能にします。ソリッドバイスサポートを可能にする真空チャックと、XステージとYステージの直接移動を利用して、オーバーレイごとにマスクと基板を正確に配置します。CANON PLA 501FAは、紫外線露光時に厚いレジスト用途や高速スピンコーティングが可能なレジスト分注機能も備えています。基板表面に堆積したコーティング層の優れた制御と均一性を実現します。PLA-501 FAは光学系のためのオープンアーキテクチャを備えており、高精度アラインメントに使用できるNシリーズブロックマスクホルダーをサポートすることができます。さらに、さまざまな駆動技術により最大限の柔軟性を提供し、1台のマシンで複数のデバイスを同時に生産することができます。このマシンは、自動化されたeビーム制御、高精度リソグラフィ、および優れた再現性を提供する堅牢で効率的な動作を備えています。また、低残留設計により、基板へのレジスト層の最適な付着を可能にします。全体として、CANON PLA-501 FAは、マイクロおよびナノスケール機器の大量生産に適した優れたマスクアライナーです。コスト、性能、精度の優れたバランスを提供し、精密部品のコスト効率の高い生産を可能にします。
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