中古 CANON PLA 501 F #9301426 を販売中

CANON PLA 501 Fは、マイクロリソグラフィープロセス用に設計された自動マスクアライナーです。サブミクロン分解能の電動ハンドステージ、超低圧接触バイアス、デジタルフィードバックループなどの高精度な機能を利用して、マスクとウェーハの最適なフォーカスとアライメントを実現します。これは、マスクの設定に要する時間を大幅に短縮し、コストと納期を大幅に削減するのに役立ちます。また、内蔵の光源、クリーンルーム回収装置、マスクとウェーハを正確に整列させるデジタルイメージングシステムも備えています。CANON PLA-501Fの高度な光学設計は、240〜330nmの波長で激しい照明を提供し、マスク上の小さな特徴を正確に検出します。強力な電子ビーム技術と一連の精密レンズと収差試験機は、照明マスクの透明性をさらに高めます。また、精度の高いセンサや制御機構を搭載しており、小さなミスアライメントやプロセスバリエーションの存在下でも高精度・高精度を維持します。PLA 501Fは、1軸あたり0。001ミクロンの自動マスク配置誤差で、優れたウェーハからマスクまでの精度を提供するように設計されています。これにより、完成したマイクロリソグラフィー製品が最高品質であることが保証されます。機械は1nmよりよい分解能を有し、最大露出範囲は20mm以下のギャップの8インチ正方形です。また、最大8秒の自動印刷速度、化学的露出を低減するEPCクリーナー機能、誤った場合のマスクを再現する内蔵レーザープリンタなど、さまざまな機能も備えています。PLA 501 Fには、フレーム内安全警報ユニットやタッチセンシティブコントロールパネルなど、アライメント手順中のミスを防止する数多くの安全機能が搭載されています。さらに、このマシンは、メタライザー、レジストプリンタ、チルローラーなどの他の多くのツールや機器と統合して、可能な限り最も包括的なマイクロリソグラフィープロセスを提供することができます。