中古 CANON PLA 501 F #9296313 を販売中
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CANON PLA 501 Fは、ウェーハアライメントとボンディングプロセスに特化した全自動マスクアライナーです。ウェハレベルのパッケージングやフォトニクスデバイスの製造に使用するために設計されています。このマスクアライナーは、解像度が向上し、より大きなウェーハとコンポーネントのアライメントと接合における汎用性が向上しています。501 Fには、3段ガルバノメータスキャナが装備されており、高速アラインメントのための「スキャン&移動」操作モードを提供します。スキャナの光ファイバー光源は、消費電力と光学毒性を最小限に抑えるように設計されており、単層または多層エッチングレチクルの表示に適しています。CANON 501 Fは、50ミクロンの精度と解像度を備えたダイレクトドライブアライナーです。マニュアル機能とオートフォーカス機能の両方を備えており、正確なアライメントとボンディングが可能です。501 Fの高性能リニアモータは、6m/s2の加速と1000mm/sの速度で最大500mmの移動が可能で、全体の処理時間を大幅に短縮できます。また、リアルタイムのエッジ検出機能とピクチャーインピクチャーモードを備えているため、複雑なレチクルであっても迅速かつ正確に整列および結合することができます。501 Fは、オペレータの安全を確保し、機密部品を保護するための安全機能を備えています。システムの放射および放射を制限する電子磁気シールドと、オペレータが潜在的な問題をすばやく検出できるハザード認識ソフトウェアを備えています。さらに、システムには、環境汚染やオペレータのエラーをさらに最小限に抑えるための自動位置決めと針の管理機能が装備されています。この費用対効果の高いマスクアライナーは非常に使いやすく、セットアップも簡単です。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとセンサーにより、迅速なパターンとウェーハの認識、および最大の精度のためのパラメータの正確な微調整が可能です。さらに、501 Fは外部ビジョンシステムと統合することができ、ユーザーはさまざまなアプリケーションに合わせてアライメントとボンディングプロセスをカスタマイズすることができます。高度な機能とシンプルなセットアップにより、CANON PLA-501Fはあらゆるウェーハアライメントとボンディングプロセスに最適です。
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