中古 CANON PLA 501 F #9265301 を販売中

CANON PLA 501 Fは、半導体ウェーハ上のパターンを正確かつ迅速に整列・転送できるマスクアライナーです。自動化された半導体マスクパターンジェネレータであり、さまざまな材料で構成されたパターンをウェーハに転送する際に正確なアライメントを提供するように設計されています。CANON PLA-501Fは、5〜200mmのラウンドウエハまで幅広いサイズのウエハサイズに対応できます。また、高解像度の光学機器を備えており、正確で反復可能なオーバーレイパターンを生成することができます。この機能により、手作業による補正が不要になり、最終的には時間とコストの両方を節約できます。機械にはデジタル位置決めシステムが搭載されており、正確なアライメントと複数パターンの自動登録が可能です。このユニットは、ウェーハ上のパターンのアライメントと補正に高い精度を提供し、人間の介入の必要性を低減します。また、広い露出領域を備えており、複数のパターンを同時に生成することができます。これにより、従来のマニュアルマスクアライナーに関連するリードタイムが短縮されます。UV照明を最大36mW発光する高出力レーザダイオードを搭載し、ウェーハへのパターンの高精度かつ再現性の高い露光を実現します。さらに、PLA 501Fを使用すると、一連の露出をプログラムして自動的に実行し、一貫した信頼性の高い結果を保証できます。ウェーハにパターンを露出する際の光学工具への振動干渉をなくす低振動機です。さらに、露光サイクル全体にわたってスムーズで信頼性の高い動作を保証する電源を内蔵しています。全体的に、CANON PLA 501Fは効率的で信頼性が高く、使いやすいマスクアライナーで、パターンを半導体ウェーハに転送する際に高精度で再現性が得られます。その高度な機能と設計は、あらゆる半導体製造プロセスにとって非常に貴重なツールです。