中古 CANON PLA 501 F #9121428 を販売中

CANON PLA 501 Fは、精密なマスクアライナーを使用してサブミクロンレベルの集積回路パターンを作成する高度なフォトリソグラフィーステッピングマシンです。高精度、連続流量処理用に設計されており、微細なパターンや回路設計を高精度かつ均一に行うことができます。CANON PLA-501Fは、ステップアライメント技術を活用して、各パターンを高精度に一貫して適用します。このシステムは、チップ設計におけるパターンの効率的かつ事前に決定された配置を容易にするためのレーザーマーキング技術を採用しています。ステッパーの光学部品はマスクの段階に渡され、基板の望ましいパターンを作成するのに必要な精密な点で投影される高解像度のイメージを提供します。これにより、各デザインまたはパターン要素が毎回正確に配置されます。PLA 501Fは、複数のプロセス制御機能を備えた高度な自動化を提供します。ソフトウェアパッケージを使用すると、露出時間、線量、フォーカス設定などの設定をプログラムおよび制御できます。さらに、バッチ処理に使用される複数のウェーハレシピを保存できます。さらに、このマシンは外部のデータ通信システムと接続することができ、LabVIEWソフトウェアを使用すると、システム全体を監視し、リアルタイムの変更を作成できます。PLA 501 Fは、信頼性の高い再現性と正確な登録も提供します。自動化されたプログラマブルデバイスアライメントシステムにより、各チップパターンに適切な測定と設定が適用されます。これにより、各設計が99％まで複製され、最高レベルの精度と製品歩留まりを実現します。さらに、CANON PLA 501Fの高速スキャン光学系は、より高速な生産時間で基板のスループットを向上させます。PLA-501Fは高精度の集積回路設計の生産に最適です。プログラマブルなプロセス制御機能、信頼性の高い再現性、および正確な基板登録により、最新の大量チップ生産に最適です。