中古 CANON PLA 501 F #66342 を販売中

製造業者
CANON
モデル
PLA 501 F
ID: 66342
aligner.
CANON PLA 501 Fは、フォトリソグラフィ半導体デバイスに使用される高精度マスクアライナーです。これは、+/-1。0 μ m以上のフォトレジストパターニング精度を達成し、DUV、 NUV、およびiライン抵抗を処理するように設計されています。この高信頼性の精密アライナーは、幅広い半導体デバイスに高解像度と統合を提供します。CANON PLA-501Fは-20〜+350°Cの低温域を有し、温度に敏感なプロセスに適しています。アライナーはレーザー干渉計と精密真空ウェーハステージを採用し、超微細なアライメント精度と高速アライメント速度を実現します。高倍率オプションのリアルタイム欠陥検査システムと、マスクの積み降ろしを迅速に行える自動マスク処理システムを内蔵しています。PLA 501Fには、高度なコンピュータユーザーインターフェイスと、自動アライメント、パターンの平滑化、シミュレートシェード検査、キャリブレーション能力を提供する包括的な組み込みソフトウェアが装備されています。このマスクアライナーは、AutoCAD DXF、 Gerber、 WSYファイル、およびOPL (Optical Proximity Layout) OPLおよびOPLXなどのさまざまなデータフォーマットをサポートしています。最も一般的なフォトリソグラフィーシステムと互換性のあるPLA 501 Fは、さまざまな生産プロセスに優れたアライメント精度を提供します。CANON PLA 501Fはスループットが高く、小規模・大規模生産に適しています。最小限のメンテナンスと低消費電力を含む、所有コストが低い。PLA-501Fには、手動または自動化されたプロセスに使用できる多彩なアクセサリが付属しており、システムのユーザビリティとプロセスの最適化を向上させます。CANON PLA 501 Fは、柔軟性、精度、効率を考慮して設計されています。その堅牢な設計と信頼性と精密なアライメントにより、フォトリソグラフィープロセスに最適です。CANON PLA-501Fは、幅広い機能とプロセス能力を備え、コスト効率の高いパッケージで正確な結果を保証する市場をリードするマスクアライナーです。
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