中古 CANON PLA 501 F #293824950 を販売中

CANON PLA 501 Fは、半導体集積回路の製造に使用される高度なツールであるマスクアライナーです。フォトリソグラフィーのイラストに合わせた数の機能を備えた高度で高精度なツールで、ミニチュアデザインを作成するために使用されるプロセスです。CANON PLA-501Fマスクアライナーは、光源とフレネルレンズを使用して表面に画像を正確に転送し、ウェーハ上にパターンを投影する方法を提供します。PLA 501Fには、半導体集積回路の製造に役立つ多くの機能があります。4インチの作業フィールドと0〜5度の傾斜マスクホルダーを備えており、マスクをウェーハにさらすことができます。また、高精度のステージを備えているため、アライナーがウエハ（またはマスク）を正確に動かし、パターンを基板に適切に配置することができます。PLA 501 Fのアライメント精度は、作業現場の30％の範囲で2。4 μ m以内です。機械自体は再現性と耐久性のために設計されており、最小限のメンテナンスを要求します。マスクアライナーには、最大4 μ mの解像度を持つコンタクトイメージセンサーも含まれています。また、最大10,000のシャッターステップ/秒の可変シャッター速度が提供され、最も要求の厳しい露光要件を満たしています。さらに、高精度のステッピングモータ駆動システムと真空テーブルは、アライメントの品質と精度に貢献します。高性能マスクアライナー、PLA-501Fは、フォトリソグラフィのアプリケーションの大部分を達成するために調整されています。ウェーハとマスクの正確なアライメントを提供し、その機能セットは、各プロセスのニーズに合わせて調整することができるさまざまな機能を提供します。CANON PLA 501Fは、高度な機能と高精度のステージを備え、ミニチュア設計のための高度なツールであり、様々な用途に適した高度な集積回路の作成を可能にします。