中古 CANON PLA 501 F #293807116 を販売中

CANON PLA 501 Fマスクアライナーは、高精度、高分解能、再現性に優れた集積回路（IC）デバイス構造と半導体部品を製造するために設計された先進的な産業用グレードのフォトリソグラフィ機械です。このデバイスには、精密光学系とリソグラフィーシステムが含まれており、最大露出面積は8〜12インチ（200mm〜300mm）で、5ミクロンから150ミクロンまでのサイズがあります。この機能により、デュアルレベルのリソグラフィが可能になり、異なるパターンの2つのレイヤーを1つのウエハ上で同時に転送およびオーバーレイすることができます。また、レジストサイドビューア、ウェハサポートプレート、バキュームチャック、マスク照明システム、レジストの過剰露出を防止するシャッターも備えています。CANON PLA-501Fは、使いやすさとデータ入力のための10インチのタッチスクリーン、プログラマブルロジックアレイ、画像およびマスク操作機能を備えた高度なオートメーションコントローラを搭載しています。レシピエディタは、異なるプロセスやレイヤーのレシピを保存およびリコールするためにも含まれています。このデバイスは、自動ロック室のドア、露出レベルを制御するための調整可能な露出窓、ほこりのない処理のための粉塵除去フィルターなど、堅牢な安全機能を備えています。さらに、機械は高精度のアライメントが可能です。ウェーハに対してマスクパターンのアライメントを正確に決定する自動アライメントシステムを搭載し、手動アライメントを排除し、時間を節約します。PLA 501Fマスクアライナーは、マイクロエレクトロニクス部品、高度に構造化された表面およびMEM技術の製造において、数多くの産業および研究アプリケーションで使用されてきました。その優れた精度、解像度、再現性は、最小限の労力で高レベルの結果を必要とする専門家のための優れた選択肢となります。