中古 CANON PLA 501 F #293615023 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293615023
ウェーハサイズ: 3"-4"
Mask aligner, 3"-4"
Spare parts
USHIO Power supply for the lamp.
CANON PLA 501 Fは、半導体フィールドエフェクトトランジスタ（FET）をはじめとする幅広い基板への微細パターン転送を容易にする高精度マスクアライナーです。この高度なマスクアライナーは、プリント基板、コンタクトコーティング、インスタント接着剤などのフォトリソグラフィ用途に特に適しています。CANON PLA-501Fは、X方向とY方向の両方で高い精度と再現性を発揮する強力な電動ステージを誇っています。この段階では、これまで以上に高速かつ正確にパターン化する必要がある基板を移動することができます。キヤノンのマスクアライナーの露光システムも高度で、2つの異なるUV光源を備えています。照明光源は、ハロゲンランプと365nmの波長を持つハロゲンスクエアランプで構成されています。これにより、光強度がパターン転送に最適であることが保証されます。また、マスクアライナーはフィデューシャルアライメントシステムを採用しており、基板とマスクを正確に再現性の高いアライメントが可能です。PLA 501Fは極端な位置決め精度と解像度を提供します。25ミクロン以下の基板をパターニングする場合、± 0。7ミクロンの位置精度を得ることができます。パターンの2点間の距離も± 2。0ミクロンの高精度で再現できます。CANON PLA 501Fには、周囲湿度計、オゾンなどの揮発性有機化合物（VOC）を空気から除去するフィルター、非常停止スイッチなど、いくつかの安全機能があります。また、操作とメンテナンスを容易にする人間工学に基づいた設計が特徴です。結論として、PLA 501 Fは、高忠実度パターンを幅広い基板に正確かつ効率的に転送できる高度なマスクアライナーです。その高度な機能により、精密フォトリソグラフィ用途に最適です。
まだレビューはありません