中古 CANON PLA 501 F #293604248 を販売中

CANON PLA 501 Fは、IC製造に使用されるフォトマスクの製造用に設計されたマスクアライナーです。柔軟なアライメント自動機構と、3つの位置決め方法を備えた高解像度画像入力装置を備えています。希望するマスクパターンは、レチクルに直接描画され、マスクアライナーによって読み取られ、レチクルの3倍の解像度で同じパターンのフォトマスクが生成されます。アライナーは、最大サイズ600mm、最小ライン幅0。1 μ mの内層または外層フォトマスクを製造することができます。リニアガイド機構と高精度ステッピングモーターシステムにより、アライメントがサポートされています。最大解像度4 μ m、精度0。5 μ m、アライメント速度100 μ m/secを実現します。柔軟なアライメント自動機構により、デバイスのマスク間アライメント精度とマスク移動歩留まりが向上します。ユニットはレジストイメージに合わせて調整できる内部アライメントグリッドを使用します。このグリッドは、40 μ mの精度でマスクをウェーハに正確に配置するために使用されます。高解像度画像入力機は、フォトマスクのマスク層を読み取るために使用され、最大30 µmの画像読み取りが可能です。このツールは、手動の入出力だけでなく、通信インターフェイスを介して自動化をサポートしています。コミュニケーションインターフェイスは、ジョブデータとマスクアートワーク用のDSTEP/APPLフォーマットの交換をサポートします。このデバイスは、200mmおよび300mmウェーハプラットフォームをサポートすることができ、非常に柔軟であり、簡単に構成、校正、維持することができます。インターフェイスソフトウェアは使いやすく、完全なジョブ管理を提供します。フロントエンドやバックエンドなど幅広い生産工程に対応できるため、IC製造、フォトマスク製造、半導体デバイス修理など、さまざまな用途に適しています。