中古 CANON PLA 501 F #293591834 を販売中

CANON PLA 501 Fは、半導体デバイスおよび集積回路（IC）製造の用途向けに設計された最先端のマスクアライナーです。フォトリソグラフィ、フォトマスキング、エッチングなどの製造プロセスに最適なさまざまな機能と性能特性を提供します。CANON PLA-501Fは、効率的なデバイスとIC生産のために設計されており、大きな作業エリア、高速アライメント速度、および精密かつ再現性の高いアライメント精度を備えています。この装置は、高出力アライメントレーザーを使用し、超高速アライメントのためのフルスキャンモーションを内蔵し、毎回正確な結果を保証するクローズドループ焦点誤差検出器を備えています。PLA 501Fは8 「x 10」までのフォトマスクのサイズを支え、システムの大きい作業エリアは適用範囲が広い設計および工具細工の選択を可能にします。このユニットは、マスクピッチ1。5 で、1時間あたり最大1,200ウェーハの高速で正確なアライメント速度と、 7 （ 1 内）のアライメント精度を備えています。CANON PLA 501Fは、0.1µm精度の露出定量化により、高品質な結果を提供します。PLA-501Fはまた、異なるマスクパターンのための可変露光時間と複数の解像度レベルを提供し、高い露光品質と信頼性を生み出します。さらに、静的アライメントなどの高度な機能と、異なるマスクの高さ、厚さ、サイズに対応する機能を備えています。PLA 501 Fは制御インターフェイスも備えており、ユーザーはレイアウト、パラメータなどをカスタマイズして設定することができます。CANON PLA 501 Fでは、マスクプレアライナーのデータ転送、エンドオブラインの評価、露出後のツール検証などのサービスも統合し、製造プロセスに最適な結果を提供します。要するに、CANON PLA-501Fは強力で信頼性の高いマスクアライナーで、高品質のパフォーマンス、高速アライメント速度、柔軟な作業エリアのオプションを提供します。さまざまなフォトリソグラフィ、フォトマスキング、エッチング、その他のデバイスおよびIC製造プロセスに最適です。