中古 CANON PLA 500F #293604246 を販売中

CANON PLA 500Fは、半導体の製造に使用されるマスクアライナーです。半導体基板上のマスクのパターンを効率的に整列させ、パターンを基板上に正確に転送するように設計されています。PLA 500Fは、シリコン基板を正確に検出できるVacuum Scanning Electron Microscope （VSEM）を利用した高精度デバイスです。また、高速スキャンレンズと完全視野光学系を使用して、正確なアライメント性能を実現しています。CANON PLA 500FのマスクホルダーのXY精度は2ミクロン、XY解像度は0。2ミクロンです。また、正確なマスキングプロセスのために、デュアルパターンアライメント、真のオーバーレイ、低フィンピッチのアラインメントなどの高度な機能も備えています。VSEMの解像度は50ナノメートルで、サイズは200〜500ミクロンです。使用されるドライブモーターは、80マイクロステップ/秒の最高速度に達することができます。PLA 500Fには、WindowsベースのGUI、簡単なPC通信インターフェイス、直感的な制御ソフトウェアからなる統合制御システムが付属しています。CANON PLA 500Fには、0。3〜1000Gの動作範囲を持つ高速電磁石が付属しています。PLA 500Fは、独自のアルゴリズムと技術を使用して、速度や精度を損なうことなく正確かつ正確なアライメントを提供します。これにより、スルーメッキ穴、CMPビア、および小さなローカル層の正確なアライメントに最適です。CANON PLA 500Fは、リソグラフィーソフトウェアやイメージングライブラリなど、さまざまなソフトウェアもサポートしています。さらに、PLA 500Fには、低圧に充填され、有害物質の認定を受けた高度な真空チャンバーが装備されています。また、高度な冷却システムを備えており、精密アラインメントの温度が一定に保たれます。CANON PLA 500Fは、マスクを整列させるための信頼性と精密なツールであり、精密な半導体製品を作成するために不可欠です。新技術とレガシー製造の両方のニーズに最適です。