中古 CANON PLA 500F #131142 を販売中

CANON PLA 500Fは、研究機関や生産ライン向けに設計された完全自動化マスクアライナーです。フォトリソグラフィ、薄膜成膜、エッチング、パターン認識、薄膜アライメントなど、さまざまなウェハアプリケーションに使用されます。PLA 500Fの主な構成要素は、Control Console、 Exposure Unit、 Exposure Unit 2、 Assign Handler、 Support Unitです。Control Consoleには大型グラフィックカラーディスプレイが装備されており、機器を制御するためのさまざまなオプションと機能を提供します。それは容易な制御および使用のためのユーザーフレンドリーなソフトウェアを含んでいます。露出ユニットには、0を提供できる6インチの直径ステッピングモーターが装備されています。25 μ mステップ解像度。露光ユニット2は、より狭い処理領域向けに設計された高速薄膜蒸着ユニットです。16インチの直径ステッピングモーターにより、0.03µmの解像度を向上させます。Assign Handlerは、Exposure UnitとExposure Unit 2とControl Consoleをリンクする完全自動スイッチングユニットです。ウェーハ表面への薄膜パターンのアライメントと転送を制御するために使用されます。サポートユニットはステッピングモーター駆動の機械装置で、機械の加工された領域に手動でウェーハをピッキングして配置することができます。CANON PLA 500Fは、様々な薄膜・レジストタイプに対応し、最大150mmのウエハ加工が可能です。最先端のパターン認識ソフトウェアを搭載しており、薄膜パターンを基板に正確に合わせて転送することができます。また、フィルターの交換も可能で、薄膜の厚みを幅広く提供します。高精度に加えて、PLA 500Fは迅速なプロセスターンアラウンドタイムを持ち、低メンテナンスのために設計されています。CANON PLA 500Fはユーザーフレンドリーで信頼性が高く、高精度です。使いやすい機能と設定を備えたシンプルなタッチスクリーンインターフェイスを備えています。これにより、ユーザーはマシン全体を素早くセットアップして制御することができます。PLA 500Fは非常に汎用性が高く、ほとんどの生産および研究ニーズを満たす幅広いオプションを提供しています。高い精度と信頼性により、あらゆるウエハ加工アプリケーションに最適です。