中古 CANON PLA 500 Series #9007956 を販売中

CANON PLA 500シリーズマスクアライナーは、ULSI （Ultra-Scale Integration）や高度なパッケージングプロセスなどの高精度フォトリソグラフィーアプリケーション向けに、信頼性が高く、費用対効果の高いマスクアライナーを提供します。PLA 500シリーズは、有機薄膜トランジスタ（OTFT）や3D統合などの製造プロセスに適しており、ポリマー、シリコン、ガラスなど幅広い基板材料に対応できます。CANON PLA 500シリーズマスクアライナーは、標準サイズとカスタム基板サイズの両方に対応できるクローズドフレームデザインを採用しています。1ミクロン以下のスポットサイズで、優れたアライメント精度を提供できます。また、プリアライメントを行うアライメントセンサシステムと、アライメント精度のための2軸のファインアライメントを備えています。PLA 500シリーズには、各マスクおよび基板の正確な座標を解決することができる専用の画像アライメントユニットも含まれています。ユーザーフレンドリーなLCDタッチパネルは、詳細なパラメータ設定と便利なユーザーインターフェイスを提供します。CANON PLA 500シリーズマスクアライナーは、ステッパー改善作業、OLC （Original Layer Compensation）、レイヤシフト操作（LSM）などの高精度フォトリソグラフィープロセスに必要な制御環境を提供します。さらに、PLA 500シリーズは、高度なメタンハウスフィーチャーを内蔵しており、より高速な処理時間とレイヤーの精密アライメントを可能にします。CANON PLA 500シリーズの露出部は、厚さ100ミリの基板に正負などの各種マスクを取り付けることができます。PLA 500シリーズは、省エネAPC （ESAPC）や自動プレート露出トリミング（APT）などの高速露出プロセスを搭載し、スループットを向上させます。さらに、フラットチップ、積層基板、積層基板など、さまざまな基板に特化した治具やカスタムホルダーを受け入れることができます。それは統合された精神VAEの部屋および直接部品の読書のための高速データポートを特色にします。ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスにより、ユーザーは必要に応じて露光時間とアライメント速度を調整できます。CANON PLA 500シリーズマスクアライナーは、高度な安全機能も備えています。これには、不正メンテナンス時の露出を防止するインターロックシステムと、安全な地上レベルを確保するための入力分離システムが含まれます。その他の安全機能には、緊急停止ボタンと内蔵の光学および静電シールドも含まれています。全体として、PLA 500シリーズは、優れたアライメント精度、高速露出プロセス、およびさまざまな安全機能を提供する、生産フォトリソグラフィープロセスのための費用対効果が高く、信頼性が高く、高精度なソリューションです。