中古 CANON PLA 500 FA #9105738 を販売中

CANON PLA 500 FAは、フォトリソグラフィ、フォトマスク、薄膜加工などの用途向けに設計された全自動マスクアライナーです。このマスクアライナーには、半導体製造業界で信頼できる選択肢となるいくつかの機能が装備されています。CANON PLA 500FAの特徴は、精度の高さです。0。1ミクロン以下の精度で動作する2つのオートアライメントステージを備えています。これにより、ウェーハなどの基板にマスクを正確に整列させることができ、高い精度が得られます。マスクアライナーには、独自の自動ウェハハンドリング装置も装備しています。このシステムは、機械内の正確なウェーハ配置とアライメントのための正確なガイダンスを提供します。ユニットはまた、ウェーハが完全に汚染物質のないままであることを保証します。ウェーハグリッパーと一体化しており、ウェーハのピックと配置を容易にすることができます。PLA 500 FAには、マスクと基板の正確な登録を可能にする特許取得済みの光学アライメントマシンがあります。光学ツールは、正確な精度のためにデジタルコントローラに結合されています。このアセットにより、精密なマスキングやリソグラフィのための薄型パターンを備えた特殊なマスクの使用も可能になります。マスクのアライナーはあらゆるクリーンルーム環境と容易に統合することができます。それは改善された粒子制御のためのクリーンルームの空気ろ過の3段階を提供する非常に有効なろ過モデルと設計されています。機器には、機械を有害な迷惑電荷から保護するための帯電防止コーティングが付属しており、機械の信頼性を向上させます。PLA 500FAは、正確な基板マスクアライメントを実現する信頼性の高いマスクアライナーで、フォトリソグラフィ、マスキング、薄膜加工などの用途に最適です。ユニークなウエハハンドリングシステムと高精度な機能を備え、最新の半導体製造アプリケーションに適した効率的な粒子ろ過ユニットを備えています。